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全球首个芯片级229nm深紫外激光器发布

来源:微电子制造2026-05-07 我要评论(0 )   

近日,Uviquity宣布推出全球首个芯片级229nm深紫外激光器。这是全球首款在该波长下由单一半导体芯片制成的激光器,提供准直、窄线宽、高光谱纯度的输出,适用于苛刻的分...

近日,Uviquity宣布推出全球首个芯片级229nm深紫外激光器。这是全球首款在该波长下由单一半导体芯片制成的激光器,提供准直、窄线宽、高光谱纯度的输出,适用于苛刻的分析与检测应用。


Uviquity是一家开发紫外波段集成光子学的深科技公司。据其介绍,该激光器基于Uviquity的氮化铝(AlN)光子集成电路(PIC)平台构建,通过在专有AlN波导中进行二次谐波产生(SHG)来实现深紫外输出。


229nm深紫外光具备更长波段所无法实现的分析能力,包括生物与化学特征物的共振增强检测,以及在大多数有机样品中几乎不存在背景荧光干扰的测量窗口。该激光器支持这一波段范围内的多种深紫外光谱技术,包括拉曼光谱、荧光光谱、光致发光光谱和吸收光谱。


目前,需要深紫外的仪器开发者通常会将基于激光器、灯和LED的多种紫外光源组合使用,但这些光源在光谱纯度、亮度、寿命、形态和成本等方面各有显著缺陷,从而制约了仪器设计。在许多应用中,唯一能达到性能要求的光源是体积庞大、价格昂贵的台式系统。Uviquity将深紫外激光器的性能集成于一颗芯片上,封装成紧凑的光电器件,仅需低压电输入即可工作。其形态坚固且可现场部署,适用于手持式、在线式和嵌入式仪器设计。


该产品的应用领域包括半导体检测与计量、实时工业过程分析、连续气体分析、无试剂水质监测,以及痕量级国防传感。Uviquity将于2026年第四季度开始向OEM合作伙伴提供样品。


“我们与这些应用领域的科学家和工程师进行了深入交流,”Uviquity联合创始人兼首席执行官Scott Burroughs表示,“他们深知这些波长的深紫外光能带来什么。他们一直缺少的是一个紧凑、可靠、能够围绕它来开发产品的光源。这正是我们在改变的局面。”


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