双方计划携手开发在大尺寸基材上沉积有机层材料的高效技术

全球半导体行业领先沉积设备供应商AIXTRON 爱思强股份有限公司与总部位于德国罗伊特林根城的专业设备制造商Manz 集团正式达成战略合作。双方将携手研发高效能的有机二极管(OLED)生产解决方案，共同把握OLED 技术的未来市场机遇。

根据此项战略合作，双方将合作研发一套利用AIXTRON 爱思强OVPD®专利工艺技术，实现在第8 代基板（尺寸为2,300x2,500 mm²）上高效沉积有机层材料的示范系统。该套全新的示 范系统将首次向业界展示OVPD®技术在以合理价格大规模、高效率生产可用于显示屏和照明应用的有机发光二极管方面的优势。

Manz 将带来其在提纯和处理大尺寸玻璃基板，以及研发和制造大型真空系统领域的丰富经验。 高效能的有机层材料沉积工艺被认为是实现以经济可行的方式生产大尺寸OLED 设备的关键， 在此次合作中，AIXTRON 爱思强将进一步发展其OVPD®工艺技术。通过合作，有望实现以卓 越的材料使用率和沉积效率生产高度均匀的易伸缩薄膜。

新系统将于未来几个月内在AIXTRON 爱思强的洁净室进行装配。除了展示OVPD专有工艺 和规模化生产大尺寸基板的能力，此次合作也将着力满足市场对新元器件的要求。降低生产成 本和提高产量是成功扩大OLED 技术市场渗透率的必备条件。而这要求必需推出更高效的生产 工艺和使用大尺寸的基材。