型号参数

dynAXIS ^®, dynAXIS ^® 3 ⁽¹⁾

XS

T

S

M

L

转动惯量

0.028g·cm²

0.125g·cm²

0.34g·cm²

1.2 g·cm²

25.1g·cm²

扭矩系数

2.3N·mm/A

5.3N·mm/A

7.5N·mm/A

15 N·mm/A

24 N·mm/A

线圈阻抗

3.9Ω

2.8Ω

2.7Ω

2.2Ω

0.85Ω

线圈电感

90μH

145μH

165μH

275μH

300μH

RMS电流

1.8A

2.2A

2.5A

3.5A

5A

峰值电流

6A

10A

10A

10A

15A

重量

不带线缆

25g

40g ⁽⁵⁾ #p#分页标题#e#

220g

300g

400g

接插件

不带预热器

DE9M

DE9M

带预热器

DA15F

DA 15F

DA 15F

DA 15F

惯性负载

推荐值

0.02g·cm²

0.1g·cm²

0.35g·cm²

1.2 g·cm²

8 g·cm²

最大值

0.05g·cm²

0.5 g·cm²

1.5g·cm²

6 g·cm²

25 g·cm²

镜片大小

7 mm

8.5 mm

10 mm

14 mm

20 – 30mm

动态特性

阶跃响应时间 1%FS

0.17 ms

0.19 ms

0.25 ms

0.35 ms

0.55 ms

一般参数

dynAXIS ^®

dynAXIS ^®3⁽⁶⁾

最大扫描角度

±12°

最大 ±20°

位置探测器参数

线性度⁽⁷⁾

< 0.4 %

< 0.1 %

零点漂移

<15μrad/K

< 3 μrad/K⁽⁸⁾

增益漂移

< 50ppm/K

< 12 ppm/K⁽⁸⁾

重复精度

< 5 μrad

< 5 μrad

输出信号

微分模式

11 μA /°

10.5 μA /°

普通模式

140 μA

110 μA

电流

35 –60mA

max. 45 mA

预热器 ⁽³⁾

预热器阻抗

120 Ω

温度探测器

1000 Ω at 25 °C

阻抗

578 Ω at 40 °C

预热器最大电流

0.25 A

线缆长度

标准0.22m

安装

绝缘处理

操作温度

5-50℃无冷凝

动态特性

重复性

<22μrad

零点漂移

30μrad/k

增益漂移

80ppm/k

长期漂移（8小时）

<0.3mrad

光学特性

扫描角度

±0.35rad

增益误差

<5mrad

零点误差

<5mrad

非线性特性

<3.5mrad

接口

模拟模式

±4.8V

数字模式

XY2-100

工作温度

25℃±10℃

SCANcube7

SCANcube8.5

SCANcube10

SCANcube14

入光孔径

7mm

8.5mm

10mm

14mm

光束偏移

9.98mm

10.17mm

12.54mm

16.42mm

动态特性

跟踪误差

0.14ms

0.14ms

0.16ms

0.30mm

阶跃响应时间

1%F.S

0.25 ms

0.30ms

0.40ms

0.65ms

10%F.S

0.70 ms

0.70ms

1.2ms

1.6ms

速度

标刻速度

2.5 m/s

2.5 m/s

2.0 m/s

1.0 m/s

定位速度

15.0 m/s

15.0 m/s

10.0 m/s

7.0m/s

电气要求

±15 VDC

最大2A/路

±15 VDC

最大3A/路

±15 VDC

最大3A/路

±15 VDC

最大3A/路

重量

650g

1Kg

1.9Kg

2.3Kg

型号参数

所有的角度都是光学角度

hurrySCAN ^®II

hurrySCAN ^®

入光孔径&, amp;, amp;, lt;, /FONT>

7 mm

10 mm

14 mm

10 mm

20 mm

25 mm

30 mm

光学特性

X轴典型扫描角度

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.26 rad

±0.35 rad

Y轴典型扫描角度

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.40 rad

±0.35 rad

扫描范围（椭圆）

-

-

-

-

-

80 x 130 mm²

-

扫描范围（圆形）

110 x 110 mm²

110 x 110 mm²

90 x 90 mm²

110 x 110 mm²

90 x 90 mm²

75 x 75 mm2

50 x 50 mm2

线性度

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

动态特性

跟踪误差

0.11 ms

0.14 ms

0.24 ms

0.18 ms

0.35 ms

0.50 ms

0.55 ms

长时间漂移（8小时）

< 0.3 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

阶跃时间

1 % F.S

0.23 ms

0.25 ms

0.40 ms

0.35 ms

, , 0.80 ms

0.90 ms

1.20 ms

10 %F.S

-

-

1.60 ms

0.90 ms

2.50 ms

3.20 ms

4.50 ms

速度

标刻速度

3.5 m/s

2.5 m/s

1.5 m/s

2.0 m/s

1.0 m/s

0.8 m/s

0.7 m/s

定位速度

15.0 m/s

10.0 m/s

7.0 m/s

7.0 m/s

6.0 m/s

5.0 m/s

3.0 m/s

写入速度

好品质写入速度

1100 cps

800 cps

500 cps

640 cps

320 cps

260 cps

220 cps

高品质写入速度

800 cps

500 cps

340 cps

400 cps

210 cps

170 cps

150 cps

重量（不带物镜时）

3 kg ⁽⁶⁾

3 kg ⁽⁶⁾

3 kg ⁽⁶⁾

3 kg ⁽⁶⁾

5.8 kg

5.8 kg

5.8 kg

型号参数
所有的角度都是指光学角度

intelliSCAN ^®/ intelliSCAN_de ^®

入光孔径

10⁽¹⁾

14

20

25

30

“Fast Vector” 式调整

速度

标刻速度

3.0 m/s

1.5 m/s

1.0 m/s

0.8 m/s

0.7 m/s

定位速度

14.0 m/s

12.0 m/s

11.0 m/s

10.0 m/s

9.0 m/s

写入速度

　,

好品质写入速度

1150 cps

500 cps

340 cps

260 cps

220 cps

高品质写入速度

800 cps

340 cps

230 cps

170 cps

150 cps

动态特性

跟踪误差

0.12 ms

0.21 ms

0.32 ms

0.50 ms

0.55 ms

“step”式调整

阶跃时间

1% of full scale

0.37 ms

0.7 ms

0.75 ms

1.0 ms

1.2 ms

10% of full scale

1.0 ms

1.4 ms

1.9 ms

2.7 ms

3.5 ms

100% of full scale

3.0 ms

3.7 ms

5.3 ms

8.0 ms

11.0 ms

可为客户特殊应用而进行优化

可提供如下调整

调整方式

优化效果

“Step”式调整

最小阶跃时间

“Sharp Edge”式调整

更高标刻速度

小倒角

“Micromachining”式调整

低抖动

型号参数
所有的角度都是指光学角度

intelliSCAN _de^®

intelliSCAN ^®

动态特性

重复精度

< 11 μrad ^(*)

< 22 μrad

抖动 （位置噪音、最大振幅）

< 5 μrad

< 22 μrad ⁽¹⁾

长时间漂移（8小时）

< 0.1 mrad ⁽²⁾

< 0.6 mrad ⁽³⁾

零点漂移

< 15 μrad/K

-

增益漂移

< 8 ppm/K

-

光学特性

线性度

< 0.5 mrad

< 3.5 mrad

位置分辨率

0.83 μrad ⁽⁵⁾#p#分页标题#e#

up to 2.8 μrad

型号参数

所有的角度都是光学角度

intelliDRILL^® 20

intelliDRILL^® 20

intelliDRILL^® 30

intelliDRILL^® 30

入光孔径

20 mm

20 mm

30 mm

30 mm

光束偏移

24.53 mm

24.53 mm

37.12 mm

37.12 mm

阶跃响应

1 mm pitch

0.43 ms

0.43 ms

0.6 ms

0.6 ms

10 mm pitch

1.5 ms

1.5 ms

2.0 ms

2.0 ms

1mm光栅的通过频率

2300 Hz

2300 Hz

1600 Hz

1600 Hz

位置分辨率

2.8 μrad

1.3 μrad

2.8 μrad

0.83 μrad

长时间漂移（8小时）

< 0.6 mrad

< 0.1 mrad

< 0.6 mrad

< 0.1 mrad

线性度

< 3.5 mrad

< 0.5 mrad

< 3.5 mrad

< 0.5 mrad

重量

3 kg

3 kg

4 kg

4 kg

通用参数
所有角度都是光学角度

动态性能

重复精度

< 22 μrad　

光学性能

扫描角度

±0.26 rad

增益误差

< 5 mrad

零点误差

< 5 mrad

电气要求

±48 V DC, 4 A/路 或者 ±24 V DC, 4 A /路

接口定义

S, L2-100 (20 bit) 或者 XY2-100增强型 (16 bit)

运行温度

25 °C ± 10 °C

冷却水

温度

20 - 25 °C

温度偏移幅度

±1K

powerSCAN 70/70i 搭配 varioSCAN 80/varioSCANde 80i

波长

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

最大激光功率（连续光）

2000 W

2000 W

2000 W

最大激光功率（50%占空比）

4000 W

4000 W

4000 W

扫描范围

0.9 m/s

2.0 m/s

3.2 m/s

Z轴聚焦范围

±10 mm

±200 mm

聚焦光斑 (1/e^{2#p#分页标题#e#})

220 μm (M²=1)

450 μm (M²=1)

650 μm (M²=1)

扩束镜倍数

4.9

4.5

4.6

焦距

(860 ± 45) mm

(1680 ± 200) mm

(2440 ± 400) mm

型号参数

所有的角度都是光学角度

powerSCAN 33

powerSCAN 50/50i

powerSCAN 70/70i

入光孔径

33 mm

50 mm

70 mm

光束偏移

45.21 mm

72.72 mm

98.2 mm

阶跃响应时间

1% F.S

1.3 ms

1.5 ms / 2.0 ms^(*)

2.8 ms / 3.5 ms^(*)

10% F.S

4.5 ms

加工速度

3 rad/s

2.5 rad/s

1.5 rad/s

定位速度

18 rad/s

15 rad/s / 25 rad/s^(*)

12 rad/s / 15 rad/s^(*)

动态特性

跟踪误差

0.75 ms

0.9 ms

1.6 ms

电气要求

±(15+1.5) V DC, 4.5 A/路

±(24+1.5) V DC,　　　　10A/路

峰值电流 20A/路

±(24+1.5) V DC,10A/路 峰值电流 20A/路

重量（配varioSCAN）

12 kg

33 kg

35 kg

风冷要求

干净、过滤气体

> 1.5 bar

干净、过滤气体

1.5 bar to 2.0 bar

干净、过滤气体

1.5 bar to 2.0 bar

通用参数

所有的角度都是光学角度

动态特性

重复精度

< 22 μrad

长时间漂移（8小时）

< 0.6 mrad

光学特性

扫描角度

±0.35 rad

增益误差

< 5 mrad

零点漂移

< 5 mrad

斜交

< 1.5 mrad

线性度

< 2.1 mrad

输入信号

模拟信号

（不含powerSCAN i）

二者选一:

±4.8 V; ±9.6 V;

±4.8 mA; ±9.6 mA

数字信号

• powerSCAN

XY2-100标准接口，光学数据传输模式可选,

• powerSCAN i

SL2-100

输出信号

每轴三个状态信号

模拟信号

(不含powerSCAN i)

TTL 电平

数字信号

• powerSCAN

XY2-100标准接口，光学数据传输模式可选,

• powerSCAN i

SL2-100

运行温度

25 °C ± 10 °C

冷却要求

max. 4.5 bar

3轴扫描系统光路构造

varioSCAN_de^® 20i

varioSCAN_de^®40i

varioSCAN 40_FLEX

激光类型

Nd:YAG

Nd:YAG x 3

CO₂

CO₂

波长

1064 nm

355 nm

10.6 μm

10.6 μm

XY扫描单元

10 mm 光阑

14 mm 光阑

30 mm 光阑

30 mm 光阑

平场物镜(场镜）

f = 55 mm

-

-

-

扫描范围

Ø 15 mm

(600 x 600) mm²

(500 x 500) mm²

(200 x 200) mm² 到(2000 x 2000) mm²

Z轴聚焦范围

± 4 mm

± 80 mm

± 100 mm

± 2 mm到 ± 400 mm

聚焦光斑直径

< 15 μm (M²= 1)

< 75 μm (M²= 1)

550 μm (M²= 1)

200 μm (M²=1) 到1.8 mm (M²=1)

扩束镜倍数

2.8

3.8

2.35

2.4 到 1.9

每个透镜的平均焦点位移

2 mm/mm

61 mm/mm

49.3 mm/mm

-

焦距

-

(1300 ± 122) mm

(850 ± 148) mm

(395 ± 18) mm 到(2850 ± 600) mm

最大激光功率 （连续光）

20 W

50 W

1000 W

500 W

型号参数

所有的角度都是光学角度

varioSCAN_de^® 20i

varioSCAN_de^® 40i

varioSCAN 40_FLEX

入射光直径

最大 8 mm

最大16 mm

最大16 mm

出射光直径

最大20 mm

最大40 mm

最大40 mm

机械参数

最大透镜位移

±2 mm

±3 mm

±1.5 mm

跟踪误差

0.55 ms

0.7 ms

1.4 ms

位移速度

≤280 mm/s

≤140 mm/s

≤100 mm/s

重复精度

< 0.5 μm

< 0.5 μm

< 1 μm

线性度

0.05 % FS

0.05 % FS

1.5 % FS

长时间漂移（8小时、恒定环境条件）

< 3 μm

, < 10 μm

电气要求

30 V DC (2, 9-, 33V),

1.5 A/路

30 V DC (29-33V),

1.5 A/路

±(15+1.5) V DC,

1.5 A/路

接口协议

XY2-100 增强型、

SL2-100

XY2-100 增强型

SL2-100

XY2-100标准型, SL2-100或者光学数据传输模式

控制板包括

DSCB + 接口板

DSCB + 接口板

SSV30

重量（由光路构造决定）

500 g to 700 g

2.4 kg

2.4 kg / 4.5 kg

型号

6231HB

6230H

机械参数

入射光束直径

8, 10, 12或15

8,10,12,15

mm

最大扫描角度（光学角）

40

40

º

转动惯量

0.82

0.97

gm*cm2, +/ - 10%

转矩系数

11,100

131,000

yne-cm/amp, +/ - 10%

最大线圈温度

110

110

ºC

最大线圈对壳体热阻抗

1.0

0.8

ºC/Watt, Max

电气参数

线圈阻抗

1.27

1.07

Ohms, +/- 10%

线圈电感

176

173

µH, +/- 10%

反向电动势

195

229

mV/度/秒, +/- 10%

RMS电流

5.8

7.1

A, Max

峰值电流

25

25

A, Max

小步长阶跃响应时间

0.25

0.25

ms

位置探测器参数

线性度

99.99

99.9

Min

比例漂移

50

50

PPM/ºC, Max

最大零点漂移

15

15

µrad/º C, Max

重复精度

8

8

mrad

输出信号（普通模式）

155

155

µA

输出信号（微分模式）

11.7

11.7

µA/º

驱动卡

67723

67723

光学特性

powerSCAN 33 with varioSCAN 40

powerSCAN 50/50i with varioSCAN 60/varioSCANde 60i

波长

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

10.6 μm

最大激光功率（连续光）

2000 W

2000 W

2000 W

2000 W

2000 W

2000 W

2000 W

最大激光功率（50, %占空比）

4000 W

4000 W

4000 W

4000 W

4000 W

4000 W

4000 W

扫描范围

(170 x 170) mm²

(500 x 500) mm²

(1.5 x 1.5)㎡

(400 x 400) mm²

(600 x 600) mm²

(800 x 800)

mm²

(1.0 x 1.0) m²

加工速度

0.8 m/s

2.0 m/s

6.0 m/s

1.3 m/s

2.0 m/s

2.7 m/s

3.2 m/s

Z轴聚焦范围

±4 mm

±35 mm

±75 mm

±10 mm

±40 mm

±50 mm

±100 mm

聚焦光斑

210 μm (M²=1)

450 μm (M²=1)

1.3 mm (M²=1)

250 μm (M²=1)

375 μm (M²=1)

500 μm (M²=1)

600 μm (M²=1)

扩束镜倍数

2.5

2.4

2.2

3.8

3.6

3.5

3.4

焦距

(414 ± 15) mm

(850 ± 75) mm

(2300 ± 500) mm

(750 ± 50) mm

(1050 ± 90) mm

(1350 ± 150) mm

(1650 ± 250) mm

参数

波长

1030 nm - 1085 nm ⁽¹⁾

最大激光功率（带特殊冷却系统）

8000 W ⁽²⁾

准直器的特性

焦距

110 mm

限定数值孔径

typ. 0.125 ⁽³⁾#p#分页标题#e#

光纤适配器

QBH, Q5 / LLK-B, QD / LLK-D（也可提供其他适配器）

阶跃时间（“step”式调整）

1% of full scale

1.2 ms

10% of full scale

3.5 ms

100% of full scale

11 ms

速度（“vector”式调整）

加工速度

4 rad/s

定位速度

50 rad/s

动态特性

跟踪误差

0.6 ms

重复精度

< 22 μ rad

长时间漂移（8小时）

< 0.6 mrad

光学特性

扫描角度

± 0.35 rad

增益误差

< 5 mrad

线性度

< 3.5 mrad

电气要求

± (15+1.5) V DC, 8 A/路

输入、输出信号

SL2-100 或者光学数据传输模式

(XY2-100-O)

重量

21 - 37 kg

运行温度

25 ° C ± 10 ° C

水冷要求

3 l/min at 20° C 及p < 0.1 bar, p < 4 bar

光学特性

场镜前扫描

场镜后扫描

焦距

460 mm

330 mm

660 mm

工作距离

488 mm

382 mm

472 mm

扫描范围（长方体）

(220 x 220 x 140) mm³

(185 x 185 x 80) mm³

(370 x 370 x 200) mm³

扫描范围（椭圆）

(385 x 270) mm²

(240 x 200) mm²

(450 x 450) mm²

Z 轴聚焦范围

± 70 mm

± 40 mm

± 100 mm

聚焦光斑大小

630 μ m(带 150 μ m 光纤)

600 μ m(带 200 μ m 光纤)

600 μ m(带 100 μ m 光纤)

光纤直径

100μ m, 150μ m or 200μ m

150 μ m or 200 μ m

50 μ m or 100 μ m

图像比例

1:4

1:3

1:6

通用参数

光学特性

扫描角度

±0.35 rad (1)

增益误差

< 5 mrad

零点误差

< 5 mrad

电气要求

±15 V DC,

每个最大 6 A /路 或者30V DC 最大6A/路

接口定义

XY2-100增强型、SL2-100 或者光学数据传输

运行温度

25 °C ± 10 °C

风冷要求

干净、过滤气体
20 l/min at Δp < 2 bar

水冷要求

5 l/min atΔp < 0.1 bar, p < 4 bar

通用参数

所有的角度都是光学角度

动态特性

重复精度

< 22 μrad

光学特性

增益误差

< 5 mrad

零点误差

< 5 mrad

斜交

< 1.5 mrad

电气要求

±(15+1.5) V DC

最大电流 3 A/路

( hurrySCAN ® 20-30 的最大电流是6A/路)

输入信号

模拟信号

二选一

±4.8 V; ±9.6 V;

±4.8 mA; ±9.6 mA

数字信号

XY2-100标准接口, SL2-100 或者光学数据传输

输出信号

每轴有3个状态信号

模拟信号

TTL 电平

数字信号

XY2-100标准接口, SL2-100 或者光学数据传输

运行温度

25 °C ± 10 °C

典型风冷要求

干净、过滤气体20 l/min at Δp < 2 bar

典型水冷要求

5 l/min at Δp < 0.1 bar, p < 4 bar