激光加工本身属于精密加工，客户往往根据产品的性质，我们要在激光打标机、激光焊接机或者激光切割机等上面附加机械臂等，这样激光加工的精确度就加上了一些难度， 激光加工机器人大多为两轴或三轴的机械手，只能进行简单的加工，而复杂曲面的加工则必须由高性能机器人来完成，也就是大范围、高精度5轴激光加工机器人，它可以完成复杂曲面的加工。若整个系统是以框架式机器人为载体，由X轴、Y轴、Z轴构成其直角坐标系中的三维运动，另外可绕A轴旋转、C轴摆动。这样整个系统的加工范围和精度就会得到很大的提高。前面阐述的三维激光加工若是大型工件一般就采用框架式机器人。这样对整个系统的检测和补偿尤其是对机器人的误差的检测和补偿就显得尤为重要，同时也才能保证系统进行高精度的加工。
      在激光加工时，要求光束垂直于加工表面，有确定的焦距要在大范围工作空间内达到加工所需精度，就需了解X轴、Y轴、Z轴的定位误差、直线度运动误差、角运动误差和各轴之间的垂直度误差。同时还要了解A、C轴的旋转和摆动的角度误差和各自旋转主轴在系统框架中的姿态，以便建立数学补偿模型来提高系统精度。整个系统需要检测的项目繁多且精度类型各异，利用普通量仪不但需要多台仪器，而且费时。