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性能达到国际先进!专家对国内首台硅晶圆激光隐形切割机进行鉴定

来源:中芯社2020-06-03 我要评论(0 )   

文 | 三三编辑 | 丁克中芯社获悉,5月30日,应中国电子郑州轨道交通信息技术研究院和河南通用智能装备有限公司的邀请,西安交通大学赵玉龙教授、杨宜康教授、王海容教授...

文 | 三三

编辑 | 丁克

中芯社获悉,5月30日,应中国电子郑州轨道交通信息技术研究院和河南通用智能装备有限公司的邀请,西安交通大学赵玉龙教授、杨宜康教授、王海容教授、高级工程师王久洪及中国兵器工业第214研究所高级工程师王文婧一行抵达郑州联合创新半导体智能装备重点实验室,对国内首台硅晶圆激光隐形切割机进行内部鉴定。

刘院长陪同专家一行首先参观了联合创新半导体智能装备重点实验室,并对硅晶圆切割的关键技术指标进行了现场验证。专家对验证结果表示非常满意,认为该设备的性能指标已经达到国际先进水平。

专家一行5人与郑州研究院、河南通用智能的研发人员进行了长达数小时的技术讨论。专家高度赞赏了郑州轨道研究院及河南通用智能的研发水平及研发人员的专业技术水平,一致认为,中国电子郑州轨道交通信息技术研究院和河南通用智能装备有限公司联合研制的硅晶圆激光隐形切割机属国内首创,填补了国内空白,其性能指标和总体水平达到国内领先、国际先进,具有广阔的市场应用前景。

鉴定活动期间,中国长城副总裁、郑州轨道交通信息技术研究院院长刘振宇向专家介绍了研究院的发展情况,并重点介绍了国内首台硅晶圆激光隐形切割机的情况。该设备由郑州轨道院与河南通用智能有限公司联合研制。研制过程非常艰辛,最终在各级领导的大力支持下、数十位研发人员夜以继日的拼搏下,历时一年多的时间于今年5月8日首台设备下线,该设备下线标志着国内硅晶圆切割设备打破了全部依赖国外进口的局面。

郑州轨道交通信息技术研究院自成立以来,围绕自主安全工业控制器、高端智能装备和新一代信息技术突破开展了一系列的科研创新和技术攻坚。尤其在被中国长城收购后,在中国长城的领导下,郑州轨道院的科研创新和技术攻关能力双双进入发展快车道。


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激光晶圆切割半导体智能装备
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