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打孔

激光打孔 vs 激光诱导刻蚀,谁才是TGV玻璃加工的王者?

激光制造网 来源:睐芯科技LightSense2025-05-22 我要评论(0 )   

除了激光,玻璃打孔的方式还有哪些?制备方法有喷砂、机械钻孔、干法刻蚀、湿法腐蚀、聚焦放电等方式,见下表:方法原理说明1. 喷砂高速喷射磨料颗粒撞击玻璃表面,反复...

除了激光,玻璃打孔的方式还有哪些?

制备方法有喷砂、机械钻孔、干法刻蚀、湿法腐蚀、聚焦放电等方式,见下表:

方法
原理说明
1. 喷砂
高速喷射磨料颗粒撞击玻璃表面,反复冲刷凿出通孔
2. 机械钻孔
使用微型硬质钻头(如金刚石)机械旋转钻入玻璃
3. 干法刻蚀
采用等离子体或离子束对玻璃进行各向异性刻蚀
4. 湿法腐蚀
使用HF化学蚀刻玻璃内部结构
5. 聚焦放电
高压放电产生局部高温,击穿玻璃形成孔洞

使用激光打孔的好处?

1,激光可实现高精度定位,孔位误差小;无需掩膜或钻头;能加工微米级孔径(<10 µm),也可根据功率调整孔深/孔径比。
2,通过参数调节、聚焦控制可实现高密度阵列孔,
3,可实现批量自动打孔,加工速度快;适合大尺寸面板化封装工艺
激光烧蚀与激光诱导刻蚀的区别?

项目
激光烧蚀激光诱导刻蚀
 原理
高能激光直接将材料气化/熔化烧蚀
飞秒激光在玻璃内部诱导结构变化,再通过化学腐蚀清除受损区域
 步骤流程
单步完成:激光直写打孔
两步:①飞秒激光写入轨迹 → ②湿法腐蚀移除变性玻璃
能量特性
通常使用CO₂激光、UV激光,热效应明显
飞秒激光,极短脉冲,无热影响区
玻璃损伤
易产生热裂纹、边缘崩裂
几乎无热裂纹,孔壁光滑、结构完整
 孔的精度与形状控制
孔形受限,孔口易塌边、不垂直
可实现高深宽比、高密度、垂直孔、异形孔阵列



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