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光学平台

光学平台隔振原理与选型

Julie 来源:Newport理波2016-03-23 我要评论(0 )   

本次慕尼黑上海光电展期间,我们推出了最新的主动隔振平台GuardianTM系列。结合简约的设计,先进的隔振技术,为超高分辨率显微镜和计量学提供了低频区域(0.5-50 Hz)无...

 振动的来源

大多数光学实验或工业生产都对系统稳定性有较高的要求。各种因素造成的振动会导致仪器测量结果的不稳定性和不准确性,严重干扰生产和实验的进行。

 

振动来源主要分为来自系统之外的振动和系统内部的振动。地面固有振动,工作人员踩踏地板以及开、关门或墙壁碰撞等通过地面传来的振动均属系统之外的振动,这一类振动需通过光学平台的隔振腿衰减;而来自系统内部的振动包括仪器振动、气流、冷却水流等,则需依靠光学平台的桌面阻尼来隔绝。

振动基本原理

固有频率

固有频率,顾名思义,为系统本身发生的振动的频率。数值上来看,固有频率等于共振频率。考虑物块与弹性悬臂梁组成的系统,固有频率取决于两个因素——物块质量,以及充当弹簧的弹性悬臂梁的弹性系数。质量减小或弹性系数减小可增大固有频率;质量增大或悬臂梁弹性系数增大可降低固有频率。

 

(左)质量减小可增大固有频率

(右)质量增大可降低固有频率

  

(左)弹簧弹性系数减小可增大固有频率。

(右)弹簧弹性系数增大(“更柔软”)可降低固有频率。

实验室或厂房内可能存在的振动源,包括地表的振动(固有频率 10-5-20 Hz),大型建筑的振动(1 Hz左右),声音(20 Hz以上),仪器设备(10 Hz以上)。用户应当根据自身情况,选择合适的光学平台以对振动有效隔绝。

阻尼

如果没有阻尼,系统将在静止前振动很长一段时间——至少几秒钟。阻尼可消耗系统的机械能,使衰减更迅速。例如,当音叉顶端浸入水中时,振动几乎立即减弱。同样,当手指轻触共振物块——悬臂梁系统时,该阻尼装置也会迅速的消耗振动能量。 

理想简谐振动

一个与理想线性弹簧连接的固定物块M可产生简谐振动,如下图所示。

弹簧长度变化Δx与应力F的关系可表示为Δx = CF,其中C是弹簧顺应性系数(Compliance),与弹簧弹性系数k成反比:k=1/C。 

在弹簧——物块系统中,当弹簧末端发生频率为,最大振幅为|u|的正弦运动时,物块M将产生最大振幅为|x|,频率同样为ω的正弦运动。物块运动|x|的振幅与弹簧末端运动|u|的振幅的稳态比即振动传递率T(Transmissibility),而系统的共振频率或固有频率ω0可表示为

 
固有频率随物块质量M或弹簧顺应性C的增加(更柔软)而降低。振动传递率曲线表征于下图

 

该系统三个突出的特征为:

1)振动频率远低于系统固有频率时,传递率T=1,因此物块的运动幅度与弹簧另一端相同。

2)接近固有频率时,弹簧末端的运动幅度增强,物块|x|的运动振幅大于弹簧末端的运动|u|振幅。对于一个无阻尼系统(ζ=0),物块的运动振幅此时在理论上会变得无限大。

3)远高于系统固有频率时,物块位移|x|与1/ω2成比例地减少。在这种情况下,系统产生的位移不能传递至物体,也就是说弹簧充当了隔离器。

光学平台系统

光学平台系统包括光学台面和隔振腿。光学平台可放置仪器并对振动进行控制。光学平台台面是隔振系统中重要的一部分,其主要作用是提供一个无相对形变的刚性平台,当有振动源传递到桌面时,桌面蜂窝结构和阻尼可有效减弱光学平台振动变形。

 

隔振腿除了支撑,主要作用是隔离来自地面的振动,隔振性能是其最重要指标之一。其他性能还包括:各腿高度独立调节,自动水平,载重能力,高度可选,有无磁性等等。

Newport在振动控制和振动隔离的生产设计方面,拥有超过40年的经验,已经成为振动控制产品和方案的行业标准。我们提供广泛的宽带及窄带调谐阻尼,不同的尺寸和厚度的光学平台,可满足任何性能、预算的需求。其中SmartTable系列桌面的专利——IQ主动阻尼技术独一无二,能最大限度隔离系统内部的振动。

主动隔振平台

本次慕尼黑上海光电展期间,我们推出了最新的主动隔振平台GuardianTM系列。结合简约的设计,先进的隔振技术,为超高分辨率显微镜和计量学提供了低频区域(0.5-50 Hz)无与伦比的隔振性能,吸引了众多参观者的关注。

 

GuardianTM工作站包括2个主动隔振模块,每一个包含3个传感器和3个衰减器,在六个自由度进行实时补偿。它不仅解决了被动隔振系统在固有频率处的共振响应问题(上图蓝色曲线),还提供高达34 dB(98%)额外的隔离(上图粉红色曲线)。隔离效率从1 Hz处的10.5 dB(70%),2 Hz处的20 dB(90%),到5 Hz处已达到30.5 dB(97%),不但大大优于以弹簧为基础的系统,而且优于最好的气浮隔振平台。

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主动隔振平台隔振性能仪器测量
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