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新型激光光束光场在线测量仪研制

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关键词:光学元件, 光束质量

2018-10-19

 【持有单位】中国科学院上海光学精密机械研究所

【所属领域】新一代信息技术

【项目概要】

        新型激光光束光场在线测量仪研制项目针对光束质量测定、表面面型测量等需求,基于波前编码成像技术,实现光束光场在线测量和元件面型检测功能,达到高的空间分辨率和测量精度,技术水平达到国际领先。本项目生产的测量仪能够实现光束振幅与相位的同时在线测量,具有与干涉仪相当的测量精度及哈特曼传感器相似的使用方便性,能够用于测量高度不规整大口径光学元件面型、元件在重力和装校应力作用下所导致的变形、温度变化导致的光学参数变化等。
 

        本产品在军用方面,能够用于激光驱动器光场精密在线测量;在民用方面,可以用于光束质量测定、表面面型测量等,在微观测量方面可以用于生物医学检测、材料结构测定等。