2025年12月2日，“智汇中山·科创讲堂”—激光产业发展与应用技术交流会暨火炬高新区光电产业技术对接活动在广东中山隆重举行。华日激光受邀出席，与来自华中科技大学、长春理工大学的专家学者及众多行业精英，共同探讨激光产业的未来发展。华日激光谢戈辉博士发表主题《国产超快激光在半导体量测的应用》演讲，展示了华日激光在半导体量测领域的最新突破与国产化应用前景。

半导体产业的竞争是精密制造与良率控制的竞争，在芯片制程不断微缩的今天，如何“看清”纳米级的内部结构？华日激光给出了国产化的硬核答案！半导体量测是芯片制造的“眼睛”。谢戈辉博士指出，随着晶圆制造工艺的复杂度提升，传统的检测手段已难以满足需求，超短脉冲激光凭借极端光学特性，成为了科研与工业界的革新性工具。

在演讲中，谢戈辉博士重点展示了华日激光的两大核心技术应用：

1.飞秒超声技术：芯片内部的“B超”针对不透明样品及多层薄膜结构，华日激光利用飞秒超短脉冲“泵浦-探测”（Pump-probe）技术，利用超快飞秒的时间分辨率，可以精确探测到纳米级别的微小结构变化，成功应用于薄膜厚度量测及芯片内部连接的探测，这是一种非接触式的无损检测（NDT）技术。

2.双光梳光谱技术：高精度的“光谱指纹”谢戈辉博士介绍了利用双光梳技术进行微纳成像突破，该技术无需机械扫描，即可实现高精度、高速度、高分辨的光学测量，为半导体微纳结构的3D成像提供了强有力的技术支撑。

核心突破：Glow系列517nm绿光飞秒激光器，对标国际一梯队。

谢戈辉博士强调：高精度的量测，离不开信噪比低的激光器。在半导体量测中，激光的相对强度噪声和时间抖动是决定测量信噪比的关键。Glow绿光飞秒激光器针对量测做以下优化：

● 低噪声：新型腔型设计与被动噪声抑制方案、精确控制腔内色散与非线性效应，降低信噪比

● 高稳定：支持7*24h连续运行，内置光学隔离，全光纤放大稳定性高，免维护

● 易集成：风冷散热，一体化工业设计，易集成

极致的低噪与稳定性，提高了测量精度、灵敏度、效率及稳定性上限，使得国产激光器在性能上已具备与国外同类产品同台竞技的实力，满足飞秒激光在半导体检量测等高端应用中的严苛要求。华日激光正以“中国制造”的硬实力，打破国外垄断，为从芯片设计到晶圆制造的每一个环节注入光能。未来，华日激光将继续携手产业链伙伴，聚焦客户挑战，用更精密、更稳定的国产光源，照亮中国半导体产业的自主可控之路。