划片原理
激光划片是利用高能激光束照利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。
应用领域
激光划片机主要用于太阳能行业单晶硅、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片(cell)和硅片(wafer)的划片(切割切片)及陶瓷片、铝箔片等,工件精细美观,切边光滑。采用连续泵浦声光调Q的Nd:YAG激光器(半导体模块)作为工作光源,由计算机控制二维工作台,能按输入的图形做各种运动。输出功率大,划片精度高,速度快,可进行曲线及直线图形切割。
主要特点
半导体激光划片机系列设备,光学系统采用国际最优的半导体激光模块和进口声光调制、高速数控X/Y工作台,步进电机驱动,在电脑控制下精确运动,专用控制软件使程序的编辑和修改简单方便,并实时显示运动轨迹。工作台采用双气仓负压吸附系统,T型结构双工作位交替工作。系统采用国际流行的模块化,关键部件均采用进口产品。整机结构合理、划片速度快、精度高、功能全、操作简单方便,能24小时长期连续工作,合项性能指标稳定可靠,故障率低,加工成品率高,适用面广,在太阳能行业得到广泛的应用和用户的高度肯定。
技术参数
激光器类型 |
半导体激光模块 |
激光波长 |
1064nm |
激光输出功率 |
≥50W |
激光重复频率 |
200Hz-50kHz |
最小线宽 |
0.02mm |
最大划片厚度 |
1.2 mm |
最大划片速度 |
120mm/s |
重复定位精度 |
0.02mm |
工作台幅面 |
300×300 mm |
电源 |
220V/50Hz/2kVA |
冷却方式 |
恒温循环水冷 |
工作台 |
双气仓真空吸附 |
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