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- 2025-12-30 11:38匠心铸造中国之“光”！雷声激光实现全固态深紫外（DUV）激光器量产，综合性能全球领先
- 2025-12-03 09:20瞄准EUV关键技术！美政府押注激光初创公司xLight：最高1.5亿美元换取最大股东地位
- 2025-10-28 10:14京华激光：拟投建年产2万吨UV光刻铂金浮雕防伪材料扩建项目
- 2025-09-16 09:55瞄向下一代光刻机EUV方案突破，这家激光智造公司在深圳秀出实力
- 2025-06-10 16:11ASML称中国早已研发国产光刻机：中科院成功研发DUV光源技术 能生产3nm
- 2024-10-09 15:27科普：EUV 光刻机的 13.5nm 光源是如何实现的？
- 2023-07-03 13:34投资50亿日元，这家厂商生产DUV光刻机核心设备光源
- 2021-10-09 09:25揭秘EUV光刻机中的激光技术
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