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- 2020-09-22 10:262020年德国未来奖颁给通快、蔡司和弗劳恩霍夫的EUV光刻开发人员
- 2020-09-07 10:13通快在台湾设立激光应用中心
- 2020-07-08 21:20中科院研发新型激光光刻技术：不用EUV 直击5nm
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