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- 2020-10-29 11:25从小作坊到全球第三！中国激光巨头净赚10亿，决心攻克光刻机
- 2020-10-28 09:47中科院：通过激光达到5nm实验室光刻精度
- 2020-09-23 13:55大族激光：光刻机项目分辨率3-5μm，和阿斯麦没有合作
- 2020-09-22 10:262020年德国未来奖颁给通快、蔡司和弗劳恩霍夫的EUV光刻开发人员
- 2020-09-14 10:17两位中科院院士、极紫外光刻专家谈习近平在科学家座谈会讲话
- 2020-09-06 23:47以光为刀，助攻微纳器件制备 ——无掩模紫外光刻机重磅出击
- 2020-09-05 09:24又一科技巨头进军光刻机领域：激光技术亚洲第一，半年营收51亿
- 2020-09-03 09:33激光直写光刻机设备商江苏影速集成电路装备拟科创板IPO
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