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金属钣金新闻

水射流导向激光加工的前世今生

星之球科技 来源:荣格2021-08-23 我要评论(0 )   

瑞士西诺瓦公司(Synova)是一家专注研发水射流激光技术的公司,自1994年Laser MicroJet(LMJ)专利首次注册认证以来,经过近30年发展,目前已在航空航天、半导体等领域...

瑞士西诺瓦公司(Synova)是一家专注研发水射流激光技术的公司,自1994年Laser MicroJet(LMJ)专利首次注册认证以来,经过近30年发展,目前已在航空航天、半导体等领域得到了一定程度的应用。相比传统激光热加工的方式,这种加工方式是将激光与细如发丝的水射流相结合,并以类似于传统光纤的方式通过全内反射精确引导激光束。


在水射流激光加工过程中,经过高压喷射出的水流可以持续冷却切割区,有效去除激光切割生成的碎屑。作为一种“冷、清洁、可控的激光器”,LMJ技术可有效解决传统激光器加工中容易产生的一些问题,如热损伤、污染、变形、碎屑沉积、氧化、微裂纹和锥度。

百年前的工艺初探


1841年,瑞士日内瓦大学的Daniel Colladon教授首次在学校演讲厅讲解基于全内反射称为“光导”的光学现象。同年,他在巴黎艺术与科学天文台展示了模型。这是世界上首次提出将光和水融合的理论。


Daniel Colladon的模型使用了电弧灯作为光源。一个镜头将光线聚焦通过水箱,并沿着从另一侧喷出的一个洞上再次进行聚焦。当水中光线以一定角度扫过水射流边缘时,全内反射将光线“困”在液体中。光线沿着水射流的方向进行弯曲弧形反弹,直到溅入收集盘中。实际上,通过这样一个装置,实现了让光线沿着水的曲线移动。


1889年巴黎世博会期间,这项发明首次应用在照亮喷泉上,向世人展示。180年后的今天,同样的导光效果也发生在光纤中。作为瑞士科学家的后人,同时也是Synova公司的创始人Bernold Richerzhagen,发明的水射流激光工艺与Colladon的实验类似,但在水射流中使用的是激光束而不是白光,体积小得多,压力也更高。

后继有人


Richerzhagen获得德国亚琛工业大学机械硕士学位后,在攻读博士学位期间获得了一项用于牙科应用的激光项目资助,目的是开发用于牙科应用(去除龋齿)的激光能量传输系统。当时,Richerzhagen考虑了两种在激光钻孔过程中冷却牙齿的方法。一种是喷水,另一种是用水射流的全反射引导激光钻孔。


最终,Richerzhagen决定采用第二种方法,因为水射流引导激光具有明显的优势:平行激光束、长焦距和快速冷却,从而可以避免热损伤,因为牙齿周边的神经系统对温度变化非常敏感。他将激光束和水射流耦合的第一台原型机采用了脉冲激光(开始用染料激光,后来用YAG红外激光),10bar水压,水源是去离子水,以及高压水射流喷嘴(直径100μm)。


该装置基于准静止水流理论,以在自由水射流中实现稳定的层流。水从腔室中持续、均匀地加速直到通过喷嘴。如图1所示,其特点是将光学器件和水射流耦合分开,使用高质量喷嘴产生稳定水射流。激光束再通过水室中的窗口聚焦到水射流喷嘴上,并耦合到从喷嘴喷出的水射流中。


但实验结果没有达到Richerzhagen的心理预期,事实上尽管实验计算和模拟表明所有激光束都应该通过喷嘴,但喷嘴很容易损坏。与此同时,他也积极准备专利申请(LASAG,编号FR 2 676 913,1991年5月)。之后两年,Richerzhagen专注解决喷嘴易损坏的问题,探究激光束没有准确聚焦到喷嘴的实际原因。


经过研究,Richerzhagen找到了导致喷嘴损坏的症结。他发现在每个脉冲期间,水吸收了一小部分激光能量后就转化为热量。水温持续升高导致了折射率不断发生变化,这会产生所谓的“负透镜”效应。激光脉冲后一段时间,水由于热传导和对流等热交换过程而冷却。结果,折射率再次上升至初始水平。这时,热导透镜失去了作用。这种现象称为热晕或热散焦。


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传输损耗随着脉冲能量的增加而增加,热散焦导致了耦合出现问题。这种散焦也致使激光束变宽,焦点位置发生偏移。因此,有相当一部分的激光能量打在了焦点以外的区域,从而引发了喷嘴损坏。


在确定水温升高对激光束产生影响后,Richerzhagen的下一个任务是测量激光束穿过水时的变化。通过实验认证和数学计算,他找到了确定折射率与水温间关系的准确方法。更进一步,他又通过数值模拟重现对热散焦下光束轮廓的实验测量。1993年,Richerzhagen成功展示了第一台烧蚀材料的水射流导向激光器,并最终在1994年完成了对这项发明的专利申请,销售商标为Laser MicroJet®(LMJ),工作原理如图2所示。

一种全新的激光加工技术


目前,从Synova公司公布的信息显示,其激光器使用的是半导体泵浦固态脉冲Nd:YAG激光器,脉冲持续时间以微秒或纳米秒计算,波长为1064nm或532 nm,平均激光功率范围20W-400W。在 50-800bar下每小时的耗水量在10升左右,引起的力可以忽略不计(<0.1牛)。喷嘴是由蓝宝石或钻石制成,足够的硬度保证长时间喷出长而稳定的水射流。


水射流导向激光(激光微射流)是一种革命性的切割技术,既有水射流切割低温、工作距离大的优点,又兼具常规激光切割的精度和速度。因此,该技术得到广泛应用,并在其他非常规加工方法(EDM、激光、磨削、磨料水射流)中展现了独特的优势。


对比传统激光束和微射流激光束,由于激光束的发散,传统的对焦激光束工作距离有限,从几毫米到几分之一毫米,不仅需要精准对焦和距离控制,还限制了切边的长宽比,锥形激光束产生非平行加工壁。另外,激光热加工中废料粒子发生沉积后,废料去除效率低,且易产生毛刺。


激光微射流技术用的是一束在空气—水界面完全反射的激光束。光束的加工距离超过10厘米且能形成平行切边,无需对焦或距离控制。切割面不平也不成问题,可进行3D切割,可变切割深度高达几厘米。 柱状激光可产生平行切割壁,可实现稳定的高质量切削效果,长宽比较高,切边宽度很小(>20µm),能以更小的材料损耗实现同样深的切削效果。


水射流的冷却作用可避免热损伤和材料变化,从而保持了较高的强度。薄薄的水膜消除了废料粒子的沉积和污染,无需加工表面保护层,高动能的水射流喷出熔融物质,避免毛刺形成。


事实证明,激光微射流技术特别适于加工切边非常薄、表面涂层精致以及易于变形、热敏感的高精密工件,比如半导体行业。柱状导向激光切割质量优良,材料损失小,是平行切削脆性材料和硬材的理想解决方案。
当前,Synova公司的研发团队仍在不断研究、改进、优化解决方案。激光微射流技术正越来越多地应用于许多工业部门加工各种材料,通常是高科技材料如陶瓷复合材料或需要高质量表面光洁度的CVD工具。各国研究机构都已经开始开发水射流导向激光技术的应用。 可以预见,这项技术的发展前景一片光明。


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