一颗小小的芯片,可能左右着一个行业,甚至全球科技的格局。杭州一家团队的技术,为它的生产打下了坚实的基础。
近日,西湖仪器宣布再次攻克一项技术难题:通过激光隐切技术,成功剥离出厚度小于100微米的超薄金刚石单晶片。
100微米是个什么概念?约等于一根头发丝的直径或者一张A4纸的厚度。
单晶金刚石属于高硬脆材料,再加上它的解理面与晶圆切片方向存在较大角度差异,这使得剥离更具挑战。西湖仪器利用激光在金刚石材料内部进行精确的非接触改性加工,从而实现超薄片的分离。
西湖仪器的技术,来源于西湖大学仇旻教授团队。公司成立之初,研发团队便攻克了碳化硅衬底激光剥离技术,仅用3年时间就完成碳化硅衬底激光剥离设备的技术开发、应用验证和商业化落地。