电机结构：
单轴振镜电机包含高精度传感器和基于移动磁铁技术的电机部分。电机转子经过优化设计，有极佳的动态属性和响应特性，此外，电机具有高刚性和低摩擦的特点。另外通过运动学和动力学仿真，针对每个电机都匹配了一定惯量的镜片。
Ultra-Galvo：
用光电传感器作为反馈系统的振镜，特点是有较高的重复精度和线性度，而且性价比极高。
Extra-Galvo：
用光栅编码器作为反馈系统的振镜，对比光电振镜，具有更高的位置解析度、更好的重复性和更低的漂移，即使在环境温度变化的条件下，也保持较好的重复性。
传感器对比
Ultra-Galvo | Extra-Galvo | |
最大角度(°) Maximum angle (°) | ±12.5 | ±12.5 |
非线性度(%)Nonlinearity (%) | ＜0.4 | ＜0.1 |
重复精度(µrad) Repeatability (µrad) | ＜5 | ＜2 |
零位漂移（µrad/K）Offset Drift（µrad/K） | ＜15 | ＜15 |
增益漂移（ppm/K）Gain Drift（ppm/K） | ＜50 | ＜8 |
位置解析度Position resolution | 18位 | 23位 |
技术参数
XXS | XS | S | M | L | ||
入口光斑Input Beam Aperture (mm) | <7 | 7 | 8.5 | 10 | 14 | 20-30 |
转动惯量Moment of inertia(g•cm2) | 0.013 | 0.018 | 0.174 | 0.34 | 1.2 | 5.1 |
力常数Force constant(N•mm/A) | 1.2 | 2.7 | 5.3 | 7.5 | 15 | 24 |
线圈电阻Coil resistance(Ω) | 2.1 | 3.6 | 2.1 | 2.7 | 2.6 | 1.58 |
线圈电感Coil inductance(µH) | 35 | 70 | 63.5 | 165 | 275 | 385 |
最大连续电流Maximum continuous current(A) | 2.3 | 2.3 | 2.3 | 2.5 | 3.5 | 5 |
峰值电流Peak current(A) | 6 | 8 | 10 | 10 | 10 | 10 |
上升时间Rise Time(ms) | 0.13 | 0.10 | 0.15 | 0.18 | 0.3 | 0.7 |
质量Weight(g) | 13 | 18 | 50 | 220 | 300 | 400 |
光栅振镜Grating galvanometer | S | M | L |
入口光斑Input Beam Aperture (mm) | 10 | 14 | 20-30 |
转动惯量Moment of inertia(g•cm2) | 0.6 | 1.5 | 7.2 |
力常数Force constant(N•mm/A) | 7.5 | 15 | 24 |
线圈电阻Coil resistance(Ω) | 2.7 | 2.6 | 1.58 |
线圈电感 Coil inductance(µH) | 155 | 275 | 385 |
最大连续电流Maximum continuous current(A) | 2.5 | 3.5 | 5 |
峰值电流 Peak current(A) | 10 | 10 | 10 |
上升时间 Rise Time(ms) | 0.2 | 0.3 | 0.7 |
质量Weight(g) | 220 | 300 | 400 |
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