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红光奖专栏

深圳技术大学
入围:工业激光器创新贡献奖

来源:激光制造网2021-04-14

百瓦级紫外皮秒工业激光器

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项目完成人员:

 刘星  阮双琛  吕启涛  吴少凡  吴 旭 欧阳德钦 陈伟  陈秋华 杜晨林  郭丽  曹洪涛 谢圣君  毛炜煜 徐方华 钟木荣  李少荣 阳其国 陈业旺 何柏林 刘敏秋 李春波


技术参数

波长

355 nm

平均功率

>100W @ 4MHz或> 55W @ 4MHz


峰值功率

3MW

功率稳定性

<2%(1σRMS)


光束质量m2

≤8.8(105W)或 ≤1.5(55W)

重复频率

100-4000kHz


脉冲能量

83uJ

冷却方式

水冷


产品特点

高功率、长寿命、高效率


产品创新

该产品由深圳技术大学阮双琛教授团队、大族激光科技产业集团股份有限公司和福建福晶科技股份有限公司联合完成。


百瓦级紫外皮秒激光器采用多项自主创新技术:提出了行波多程放大结构及新型多级光纤/固体混合放大技术;采用非布儒斯特切角晶体三倍频技术;揭示了LBO晶体紫外光损伤机理;自主研制了高稳定皮秒激光种子源。开发了系列工业级355nm紫外激光器。攻克了制造工艺和工程技术难题,将紫外波长转化效率提高到35%以上,非线性晶体单点寿命突破10000小时(国际平均2000小时),最大激光输出功率达105W(8ps)。


市场情况

为了打破国外长期对高功率紫外激光器技术封锁,围绕高功率长寿 命紫外激光器及其工业应用领域的关键共性技术,深圳技术大学阮双琛教授团队与大族激光科技产业集团股份有限公司、福建福晶科技股份有限公司等紧密合作,历时10 余年的自主研发和技术攻关,研制了高功率紫外激光器,实现了国内系列工业级高功率系列紫外固体激光器产业化及其应用,并填补了国内空白。


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