图7 微细探针SEM 观察和EDS 成分分析

雷射清洁

雷射清洁微细探针实验，针对不同波段的雷射，调整雷射功率、脉冲时间等雷射相关参数进行实验。微细探针经由雷射清洁前与雷射清洁后之OM观察比较如图8、图9所示。由图8、图9可观察进行雷射清洁前，微细探针表面附着许多污染物，无法直接观察微细探针表面层，经由雷射清洁后，微细探针表面污染物明显地被清除，可清楚观察微细探针原本之表面层。如图10所示为微细探针经由雷射清洁前与雷射清洁后之剖视图观察比较，由图10可观察微细探针中心凹陷区域附着污染物，经由雷射清洁污染物已被清除。

图8微细探针经由雷射清洁前与雷射清洁后之OM观察比较图

图9微细探针经由雷射清洁前与雷射清洁后之OM观察比较

雷射清洁前