图2 雷射清洁微细探针原理说明

三、实验方法与结果

本研究针对雷射于微细探针清洁技术之应用，探讨微细探针清洁效果。重点为雷射对于微细探针表面镀层污染物之清洁效果分析，利用雷射进行微细探针表面镀层附着污染物之清洁工作，清洁结果经由OM观察分析，判断雷射应用于微细探针表面附着污染物之清洁效果。

雷射清洁微细探针实验流程─第一步骤将Socket模块进行显微镜形貌分析，观察微细探针的个体形貌。第二步骤进行雷射清洁微细探针实验，针对不同波段的雷射，调整雷射功率、脉冲时间等雷射相关参数进行实验，第三步骤将雷射清洁后的微细探针进行OM 观察，可观察微细探针表面附着上的物染物是否清除。

微细探针形貌与成份分析

用体显微镜观察Socket上之微细探针形貌，如图3所示。图4为个别微细探针针尖顶端的放大图，由图4可知微细探针的外观呈现四个爪状，微细探针中心为凹陷区域，凹陷区域即为污染物最容易残留的区域。此外，将微细探针由Socket上拆卸，探针个体形貌如图5所示。

图3   Socket上之微细探针形貌