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图4 微细探针针尖顶端放大图
图5 微细探针巨观图与局部放大图
将微细探针进行金相实验，首先使用OM观察，如图6所示，可观察微细探针为三层结构，并使用SEM与EDS进行观察成份分析，如图7所示，可知微细探针的本体(图6中标示3区域)材质为铜，中间层(图7中标示2区域)为包含磷与镍材质的镀层，表面层(图7中标示1区域)则是材质为金的镀层，污染物即附着于表面镀金层，影响微细探针的导电特性。
图6 微细探针
关键字：雷射清洁,印刷电路板,晶圆
图4 微细探针针尖顶端放大图
图5 微细探针巨观图与局部放大图
将微细探针进行金相实验，首先使用OM观察，如图6所示，可观察微细探针为三层结构，并使用SEM与EDS进行观察成份分析，如图7所示，可知微细探针的本体(图6中标示3区域)材质为铜，中间层(图7中标示2区域)为包含磷与镍材质的镀层，表面层(图7中标示1区域)则是材质为金的镀层，污染物即附着于表面镀金层，影响微细探针的导电特性。
图6 微细探针
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