技术突破！江苏先导首台12寸高端晶圆级光学磁控溅射设备正式交付

7月30日，江苏先导微电子自主研发的首台Star600-EOSS 12寸高端精密光学磁控溅射量产设备，在江苏徐州高新区生产基地完成设备组装、联调，成功通过自动化与工艺验证，正式交付国内头部晶圆厂。此次首台设备顺利出货，标志着公司在高端晶圆级光学镀膜装备领域实现了从研发、制造到产业化交付的重要突破，进一步推动了该装备的国产化进程。 

Star600-EOSS 是基于集团现有技术能力进行研发的高端晶圆级精密光学磁控溅射设备，通过集团的核心专利、工艺数据库及整机设计体系，江苏先导成功实现了国际先进技术的工程化落地，并结合自身研发能力完成了工艺适配优化，为高端光学薄膜制造提供了硬核装备支撑。

Star600-EOSS 专为12寸晶圆级光学镀膜设计，围绕薄膜沉积的核心工艺需求，具备多项优势。设备采用孪生旋转阴极向上溅射（Sputter-up）结构设计，从物理层面降低颗粒产生，提升工艺稳定性。设备支持12寸整片晶圆加工，片内膜厚均匀性≤±0.3%，片间工艺稳定性在0.3%以内，可完美适配红外截止滤光片、AR增透膜、光波导介质膜，以及100层以上窄带滤光片等精密光学薄膜量产，产品性能优良，无波长偏移，良率稳定。此外，设备集成了原位宽光谱在线监测系统，实时闭环修正沉积薄膜的膜厚。自动化方面标配EFEM前端模块，兼容行业通用12寸FOUP晶圆盒，通过真空吸附机械手实现盒到盒全自动传输，并支持SECS/GEM工厂MES系统互联互通，满足7×24 小时无人值守连续量产。该设备采用模块化工艺设计，配备了多工位独立磁控阴极单元，可自由切换多种靶材，并选配离子源、等离子原位预处理及低温温控平台，兼顾研发样品制备灵活性与大规模量产稳定性的双重需求。

区别于单一设备厂商，江苏先导依托母公司先导科技集团完整的产业链优势，已形成“高纯靶材原料—镀膜设备整机—薄膜工艺开发”的垂直一体化核心竞争力。在光学薄膜应用领域，公司结合集团的高纯铟、钽、钛、硅等光学靶材资源，可针对客户产品需求同步完成靶材匹配与工艺配方开发，为客户提供一站式定制化镀膜解决方案。此次设备的成功发货，是持续推进核心装备自主研发与产业化应用的重要成果。未来，公司将继续聚焦先进薄膜沉积技术创新，进一步助力精密光学、晶圆级光学以及半导体产业高质量发展。