除了激光，玻璃打孔的方式还有哪些？

制备方法有喷砂、机械钻孔、干法刻蚀、湿法腐蚀、聚焦放电等方式，见下表：

方法	原理说明
1. 喷砂	高速喷射磨料颗粒撞击玻璃表面，反复冲刷凿出通孔
2. 机械钻孔	使用微型硬质钻头（如金刚石）机械旋转钻入玻璃
3. 干法刻蚀	采用等离子体或离子束对玻璃进行各向异性刻蚀
4. 湿法腐蚀	使用HF化学蚀刻玻璃内部结构
5. 聚焦放电	高压放电产生局部高温，击穿玻璃形成孔洞

使用激光打孔的好处？

1，激光可实现高精度定位，孔位误差小；无需掩膜或钻头；能加工微米级孔径（<10 µm），也可根据功率调整孔深/孔径比。

2，通过参数调节、聚焦控制可实现高密度阵列孔，

3，可实现批量自动打孔，加工速度快；适合大尺寸面板化封装工艺。

激光烧蚀与激光诱导刻蚀的区别？

项目	激光烧蚀	激光诱导刻蚀
原理	高能激光直接将材料气化/熔化烧蚀	飞秒激光在玻璃内部诱导结构变化，再通过化学腐蚀清除受损区域
步骤流程	单步完成：激光直写打孔	两步：①飞秒激光写入轨迹 → ②湿法腐蚀移除变性玻璃
能量特性	通常使用CO₂激光、UV激光，热效应明显	飞秒激光，极短脉冲，无热影响区
玻璃损伤	易产生热裂纹、边缘崩裂	几乎无热裂纹，孔壁光滑、结构完整
孔的精度与形状控制	孔形受限，孔口易塌边、不垂直	可实现高深宽比、高密度、垂直孔、异形孔阵列