产品特点

l Ÿ  非接触式直驱结构                                                  Ÿ  面式十字叠层结构

Ÿ  抗蠕动交叉滚柱导轨                                              Ÿ  高动态性能，高精度

Ÿ  百纳米级定位精度                                                  Ÿ  结构可接受定制

应用领域

RBLBAC系列是一款百纳米级精度的双轴精密运动台，具有纳米级微动步距，百纳米级定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、激光微加工、测试测量及光学检测等领域。

结构特点

每轴采用双直线电机驱动，推力大，高动态性能，在低速运行时保持平稳，在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，线线接触，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。平面式叠层式结构紧凑，降低XY轴高度，提升整体精度性能。

精度性能

双轴精密运动台的定位精度±0.3μm，高重复定位精度±75nm，直线度±0.75μm，是高精度场所的理想选择。

精密控制

配合高性能的控制和驱动器，可提供优异的伺服性能、先进的控制算法，从而提高动态性能，控制器有误差补偿功能。

定制化

定制断电抱闸功能，抱闸后位置相比抱闸前位置漂移误差10nm内；定制用于真空环境下的版本，真空度到10^-7Torr；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撑钢架、隔振器等整套运动控制方案。

规格指标

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。