近日,天府兴隆湖实验室向国内多家先进制造头部企业与科研机构集中交付一批衍射光学元件(DOE)产品,涵盖螺旋相位板、平顶光整形器、环形光整形器等多种类型,本批次产品采购方主要为激光精密加工、激光显示等企业,也有部分产品用于量子研究等科研领域。
平顶光整形器
在数字材料四川省工程研究中心的有力支持下,实验室构建了覆盖DOE研发设计、精密制造、严格质检到产品交付的全链条服务体系。目前,产品线涵盖平顶光整形器件、环形光整形器件、分束整形器件、多焦点整形器件、涡旋光整形器件(含S-波片)等多类DOE元件,可以应用于激光打孔装备、高功率激光切割设备、高功率激光焊接设备、激光增材制造设备、高精度晶圆测量装备、光刻机曝光系统等场景。
实验室多类产品在实际应用中光束整形效果优异。以平顶匀化DOE器件为例,损伤阈值可达70J/cm²(1064nm,10ns),典型工作波长从紫外(193nm)至红外(1550nm),高边缘陡峭度匀化光斑的实测结果,平顶光斑顶部区域的非均匀性RMS小于5%,衍射效率≥95%,展示出了良好的顶部均匀性及衍射效率。实验室还具备丰富的定制化加工DOE产品线,可根据客户在不同方面的个性化需求,提供灵活高效的定制化解决方案。
匀化光斑整形实测
从研发端的快速响应,到制造端的高精度加工,再到质检端的逐项性能验证与交付端的高效闭环,全链条自主可控的能力形成了高品质的DOE货架产品。未来,天府兴隆湖实验室将持续强化从研发到交付的全链条优势,不断扩展衍射光学元件产品阵列,为客户提供高可靠、高性能的核心元件支撑。

















