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半导体/PCB

美国Veeco与中国中微半导体间起了一场“冲突”:中微当自强

星之球科技 来源:我为科技狂Tech2017-12-08 我要评论(0 )   

在半导体设备行业中,一家半导体设备厂商与另一家半导体设备厂商相互展开竞赛,首先受益的自然会是下游的厂商们。一家半导体设备

 
在半导体设备行业中,一家半导体设备厂商与另一家半导体设备厂商相互展开竞赛,首先受益的自然会是下游的厂商们。一家半导体设备厂商若能积极地与另外一家或者多家半导体厂商展开同业竞争,这反倒很可能使得自身的实力更快地提升才对。
2017年12月7日,台湾省DIGITIMES报导,近些年来,中国半导体设备行业一直在快速地进步。这会促使中国芯片设计与制造行业更好地发展。这里就还是引用DIGITIMES的一段原话,“半导体设备国产化是实现国产化芯片最关键的一役,近期包括北方华创、电科装备集团分别在立式氧化炉、化学机械抛光设备皆相继取得生产阶段性突破,尽管面对国外厂家与竞业兴诉围堵手段,国产设备厂商仍取得积极进展”。由北方华创旗下的北方华创微电子所研发的立式氧化炉THEORISO302已被上海中芯国际、华力分别批量地采用后,该款型设备近期还会被长江存储用来生产首款3D NAND闪存芯片。中电科装备研发的首台CMP(化学机械抛光设备),在近期也已被中芯国际采用。
 
DIGITIMES还报导,不久前,美国MOCVD(金属有机化合物气相沉积设备)厂商Veeco向美国纽约东区法院提出针对SGL公司的一项禁令请求,要求该法院禁止SGL向包括中国半导体设备厂商中微半导体在内的厂商供应有着Veeco专利技术的石墨盘。
事实上,在MOCVD设备市场中仅有两大厂商,一家是Veeco、另一家便是中微半导体。这两家厂商在MOCVD设备市场中均占有一半的市占率。很显然,Veeco此举将使得中微在短时间内无法向SGL采购到足量的石墨盘,进而影响到中微继续生产MOCVD设备,甚至还殃及到下游一部分LED芯片厂商。
一个好消息是,有媒体近日这样报道,“2017年11月24日,国家知识产权局专利复审委作出审查决定,否决了‘Veeco上海公司’关于中微专利无效的申请,确认中微半导体起诉‘Veeco上海公司’专利侵权的涉案专利为有效专利”。该媒体也提到,“中微开发相关技术、并在一系列相关专利申请布局后数年,Veeco美国公司才随之应用相同技术解决方案,在中微申请该涉案专利之后,Veeco美国公司针对该关键技术也提交了相近的专利申请,并使用于其EPIK 700产品上,由此侵犯了中微的专利权”。中微半导体作为国内半导体设备行业中的“领头羊”,之前国际上的应用材料和科林研发等半导体设备厂商相继与中微有过“交手”。
 
DIGITIMES引述半导体行业首席分析师顾文军的话称,“中微在关于Veeco与SGL的官司上,似乎暂时判决对中微半导体不利,也引起了业内对中微和LED公司的担心,但很快就会有好消息,不必太过悲观”。另有专业人士就此分析,Veeco与中微之间产生的这起“冲突”,很可能与Veeco已经布局MicroLED显示行业有很大的关系。Veeco希望自己能比中微有更大的优势。
2017年11月1日,Veeco和ALLOS半导体(ALLOS Semiconductors)之间达成了一项战略举措,展示了200mm硅基氮化镓晶圆用于蓝/绿光micro-LED 的生产。Veeco和ALLOS合作将其专有外延技术转移到 Propel单晶圆MOCVD系统,从而在现有的硅生产线上实现生产microLED。“和竞争对手的MOCVD系统相比, Veeco的TurboDisc技术提供的制程窗口更大,因此Propel能提一流的均匀性同时还能获得优良的膜品质。将Veeco领先的MOCVD专业技术和 ALLOS的硅基氮化镓外延晶片技术相结合,使我们客户能够开发出低成本的micro-LED,以便于在新的市场中开拓新的应用。”Veeco高级副总裁兼MOCVD运营总经理Peo Hansson博士这样说。

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激光半导体Veeco
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