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上海市委常委、常务副市长周波到上海先进激光技术创新中心调研

来源:上海光机所

  发布:johnny

关键词:极紫外 EUV 激光技术创新中心

2018-09-04

  86日,上海市委常委、常务副市长周波一行在嘉定区委书记、区长章曦,嘉定区委常委、副区长董依雯等陪同下到上海光机所上海先进激光技术创新中心考察调研。上海光机所所长李儒新院士,党委书记邵建达、副所长张龙等参加接待。 

  周波一行首先参观了上海先进激光技术创新中心展示厅,听取了创新中心的运营模式及最新科研成果转化情况汇报。随后,杨上陆研究员介绍了激光技术在新能源汽车中的应用,以及新能源汽车激光加工工艺研发平台的建设进展;贺岩研究员介绍了激光雷达事业部产品研发及市场应用情况;黄惠杰研究员介绍了高端光刻机照明系统研发及产业化推进情况。最后,李儒新就当前极紫外(EUV)光刻发展态势等作了介绍,并就EUV光刻光源装备研发、产研深度融合、协同攻关机制等提出建议。 

  上海市发改委、市经信委、市科委,嘉定区科委,嘉定工业区等领导参加调研。(科技开发处供稿)