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华芯半导体的VCSEL生产线选择OIPT等离子刻蚀设备

来源:微迷网

  发布:星之球科技

关键词:半导体激光 激光技术

2018-09-03

 
华芯半导体的VCSEL生产线选择OIPT等离子刻蚀设备
位于中国泰州的人脸识别VCSEL研发和制造厂商华芯半导体选择牛津仪器等离子技术公司(OIPT)的Cobra等离子蚀刻设备。
 
据麦姆斯咨询报道,牛津仪器等离子技术公司(Oxford Instruments Plasma Technology,简称OIPT)近日宣布,华芯半导体(Sino-semic)已经选择了其Cobra等离子蚀刻设备,用于VCSEL产品的批量生产。
 
华芯半导体员工全部是中国本土培养的优秀人才,其中VCSEL产品研发团队有30多人,具有博士学位或中高级职称的骨干成员超过10人,在器件结构设计、外延生长、芯片制程、封装测试、可靠性分析等方面都有行业内顶尖的领军人物。团队核心成员主要毕业于中国科学院,有多人先后承担973、863等国家重大项目以及自然科学基金等国家级科研项目。
 
2017年中旬,华芯半导体全自主开发的VCSEL开始提供客户测试;同年年底,850nm 10G VCSEL芯片开始批量出货,并且进行940nm VCSEL项目立项。今年,940nm VCSEL芯片已经进入批量出货阶段。
 
华芯半导体副总经理李军表示:“无与伦比的工艺能力和响应积极的本地支持是我们选择OIPT等离子刻蚀设备的原因,这对于VCSEL的批量生产非常重要。”
 
Cobra工艺解决方案旨在支持前沿器件研发和应用,如激光器、射频、电源、高端LED等。
 
“基于VCSEL的消费类电子设备正在进入一个令人兴奋的增长阶段,” OIPT董事总经理Richard Pollard表示,“我们很高兴为中国先进的激光器生产制造商(如华芯半导体)提供我们的VCSEL工艺解决方案!”