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北京国科世纪激光器技术有限公司(以下简称“国科激光”)成功研制定型激光调阻用高精度激光器。此款激光器命名为AmberIR-10000HQ-Y系列,是专门瞄准激光调阻市场设计开发的。激光调阻是利用激光对薄膜电阻进行精密阻值切割调整的机器,是目前高端市场采用和工作效率较高调阻设备。
国科激光通过采用热不灵敏谐振腔和无调整环节谐振腔等专利设计方案,运用晶体焊接等专利技术,生产出的激光器在光束质量、光斑圆度、功率稳定性、首脉冲抑制、脉冲峰值功率波动、开关门特性、脉冲能量稳定性等技术指标方面完全达到高精度调阻设备对激光器的较高要求。此外,在环境适应性、可维修性等方面的诸多设计为未来长期稳定使用提供了技术基础。 国科激光研产的调阻设备专用激光器经历了一年多性能参数检验和工艺加工效果测试,最终在调阻设备使用客户处通过在调阻的精度、效率、一致性等方面的检验,完全能够满足薄膜电阻在高、中、低三个不同范围的激光微调要求,达到国际同类产品水平。 国内最大的激光调阻设备生产商-长春光华微电子设备工程中心有限公司已经批量采购该系列激光器产品用于生产激光调阻机,并分批交付给客户,国科激光首批次交付的激光器产品累计工作时间已经超过一年,其工作表现得到了客户的高度认可。
附表1:国科激光调阻机专用激光光源性能参数
型号
AmberIR-10000HQ -Y
泵浦源
半导体激光器
波长
1064nm
最大连续功率
10W
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