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产品特点
l Ÿ 非接触开式气浮结构 Ÿ 行程25~150mm可选
l Ÿ 重复定位精度±50nm Ÿ 直线度±0.1μm，平面度±0.15μm
l Ÿ 摆角误差±0.5arc sec Ÿ 带防护罩防尘装置
应用领域
QFL-FH系列气浮运动台带防护罩装置，可作为单轴使用，或与其它轴组装成多轴系统，用于超精密加工，金刚石单点车等加工行业。
结构特点
QFL-FH气浮运动台主要采用气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，开式气浮导轨，永磁预载，多孔与小孔相结合的方式，侧向刚度大，适用于超精密加工等行业。气浮导轨可根据客户需求定制多种版本，有航空铝合金版、大理石版、氧化铝版及碳化硅版。最高直线度可达0.1μm内，重复定位精度最高可达±15nm。
精度性能
气浮导轨基于气体静压效应，实现无摩擦和无振动地平滑移动，QFL-FH系列气浮运动台，行程25~150mm可选，定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch、Roll及Yaw ±0.5arc sec，由于非接触式移动，高精度直线光栅闭环反馈，系统跟随误差有了质地提升。
防尘设计
采用独特的密封装置，最小阻尼系数不影响精度性能，在应用中防止异物进入气浮导轨。
定制化
可定制碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能。
规格指标
型号 | 单位 | QFL-FH-25 | QFL-FH-75 | QFL-FH-100 | QFL-FH-125 | QFL-FH-150 | |
行程 | mm | 25 | 75 | 100 | 125 | 150 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
标准值 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
标准值 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
标准值 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | ±0.4 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
标准值 | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.45 | ±0.5 |
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ||
最大速度 (空载) (4) | mm/s | 50 | 100 | 300 | 300 | 300 | |
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
最大加速度 (空载) (4) | m/s² | 1,（≥5 定制） | |||||
最大负载 | kg | 15 | |||||
供气压力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。